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Micro nano technology and high-end precision manufacturing

為客戶(hù)創(chuàng)造更大價(jià)值

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Semiconductor field

半導(dǎo)體材料、 工芝和裝備的研發(fā)設(shè)計(jì) 生產(chǎn)制造商

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Production-oriented TGV/TSV high vacuum magnetron sputtering coating machine
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Production high vacuum magnetron sputtering and ion assisted composite coating machine
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Production/experimental film deposition equipment

半導(dǎo)體材料與器件、微納材料與器件及高級(jí)精密制造技術(shù)的研發(fā)設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造商

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HFCVD chemical vapor deposition equipment

微米晶和納米晶金剛石薄膜的研發(fā)和生產(chǎn)
大尺寸金剛石多晶晶圓片,用于大功率器件、
高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉

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Advanced semiconductor material supplier based on autonomous equipment

PECVD 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備主要用于在
潔凈真空環(huán)境下進(jìn)行氮化硅和氧化硅的薄膜生長(zhǎng)

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產(chǎn)品展示

總程系統(tǒng)

設(shè)備整體為cluster結(jié)構(gòu),由光電轉(zhuǎn)換薄膜沉積系統(tǒng)、MAMS 電子剝離系統(tǒng)、排氣封裝系統(tǒng)、吸氣材料真空涂敷系統(tǒng)、整體除氣系統(tǒng)組成??蓪?shí)現(xiàn)整體自動(dòng)協(xié)調(diào)操作,也可各系統(tǒng)獨(dú)立運(yùn)行,互不干擾,系統(tǒng)間可設(shè)置互鎖。316材質(zhì)制造,預(yù)留若干法蘭接口。

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生產(chǎn)型 TGV/TSV /TMV 高真空磁控濺射鍍膜機(jī)

生產(chǎn)型TGV/TSV/TMV高真空磁控濺射鍍膜機(jī)(Sputter-2000W系列)該設(shè)備用于玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔的鍍膜,深徑比>10:1。

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HFCVD 熱絲化學(xué)氣相沉積設(shè)備

研發(fā)設(shè)計(jì)制造了熱絲CVD金剛石設(shè)備,分為實(shí)驗(yàn)型設(shè)備和生產(chǎn)型設(shè)備兩類(lèi)。 設(shè)備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜的研發(fā)和生產(chǎn)??捎糜诹W(xué)級(jí)別、熱學(xué)級(jí)別、光學(xué)級(jí)別、聲學(xué)級(jí)別的金剛石產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。 可以制造大尺寸金剛石多晶晶圓片,用于大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉。

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MBE分子束外延設(shè)備

分子束外延薄膜生長(zhǎng)設(shè)備(MBE)(分子束外延MBE)該設(shè)備可以在某些襯底上實(shí)現(xiàn)外延生長(zhǎng)工藝,實(shí)現(xiàn)分子自組裝、超晶格、量子阱、一維納米線(xiàn)等。可以進(jìn)行第二代半導(dǎo)體和第三代半導(dǎo)體的工藝驗(yàn)證和外延片的生長(zhǎng)制造。 分子束外延薄膜生長(zhǎng)設(shè)備在薄膜外延生長(zhǎng)時(shí)具有超高的真空環(huán)境,是在理想的環(huán)境下進(jìn)行薄膜外延生長(zhǎng),它可以排除在薄膜生長(zhǎng)時(shí)的各種干擾因素,得到理想的高精度薄膜。

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關(guān)于我們

鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司

由哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳)與有多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起創(chuàng)建。


公司立足于技術(shù)前沿與市場(chǎng)前沿的交叉點(diǎn),尋求創(chuàng)新引領(lǐng)與可持續(xù)發(fā)展,解決產(chǎn)業(yè)的痛點(diǎn)和國(guó)產(chǎn)化難題,爭(zhēng)取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。 公司核心業(yè)務(wù)是微納技術(shù)與高端精密制造,具體應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體工藝和半導(dǎo)體裝備的研發(fā)設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造。 公司人才團(tuán)隊(duì)知識(shí)結(jié)構(gòu)完整,有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團(tuán)隊(duì);還有來(lái)自工業(yè)界的高級(jí)裝備設(shè)計(jì)師團(tuán)隊(duì),他們具有20多年的半導(dǎo)體材料研究、外延技術(shù)研究和半導(dǎo)體薄膜制備成套裝備設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗(yàn)。 公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳),具備先進(jìn)的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備平臺(tái)和檢測(cè)設(shè)備平臺(tái),可以在高起點(diǎn)開(kāi)展科研工作。公司總部位于深圳市,具備半導(dǎo)體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及半導(dǎo)體材料與器件的中試、生產(chǎn)、銷(xiāo)售的能力。

進(jìn)一步了解
2021

公司成立時(shí)間

54 +

技術(shù)專(zhuān)利

30 年 +

技術(shù)積累

200 +

服務(wù)客戶(hù)

實(shí)驗(yàn)室及研發(fā)中心

依托哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳)完備的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)和測(cè)試分析平臺(tái),為研發(fā)和生產(chǎn)提供支撐。

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新聞資訊

全球MBE市場(chǎng)穩(wěn)步增長(zhǎng),中國(guó)鵬城半導(dǎo)體突破技術(shù)壟斷

2025-05-23

2021年,全球分子束外延(MBE)系統(tǒng)市場(chǎng)規(guī)模約為5.5億元人民幣,展望至2028年,這一數(shù)字預(yù)計(jì)將攀升至9.6億元,意味著在2022至2028年間,該市場(chǎng)將以8.3%的年復(fù)合增長(zhǎng)率持續(xù)壯大。分子束外延系統(tǒng)在半導(dǎo)體及基礎(chǔ)材料研究領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用,其消費(fèi)主力軍包括歐洲、美國(guó)、日本以及中國(guó)等工業(yè)體系完備的國(guó)家,它們共同占據(jù)了全球超過(guò)八成的市場(chǎng)份額。

轉(zhuǎn)發(fā) 科創(chuàng)要聞 | 豐富形式促服務(wù) 精準(zhǔn)服務(wù)助創(chuàng)新

2025-05-21

2025年5月15日是全省第十九個(gè)“政務(wù)公開(kāi)日”,圍繞“深化政務(wù)公開(kāi)、助力決戰(zhàn)決勝”的活動(dòng)主題,沈陽(yáng)市科技創(chuàng)新服務(wù)中心以政務(wù)公開(kāi)為契機(jī),結(jié)合沈陽(yáng)市科技創(chuàng)新政策宣傳與助企服務(wù)需求,開(kāi)展了專(zhuān)題調(diào)研走訪(fǎng)活動(dòng)。此次調(diào)研的為鵬城微納技術(shù)(沈陽(yáng))有限公司,旨在宣傳沈陽(yáng)市科技創(chuàng)新平臺(tái)建設(shè)成效、科技條件平臺(tái)資源共享及創(chuàng)新券政策落實(shí)成果,推動(dòng)沈陽(yáng)市科技中介服務(wù)聯(lián)盟協(xié)同發(fā)展,進(jìn)一步優(yōu)化營(yíng)商環(huán)境,助力企業(yè)創(chuàng)新突破。

薄膜沉積設(shè)備

2025-04-30

薄膜沉積設(shè)備分類(lèi)薄膜沉積是指在硅片等襯底上沉積待處理的薄膜材料,所沉積薄膜材料主要是二氧化硅、氮化硅、多晶硅等非金屬以及銅等金屬,沉積膜可為無(wú)定形、多晶的或者單晶。

展會(huì)邀請(qǐng)|鵬城半導(dǎo)體誠(chéng)邀您參加第七屆全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(重慶)博覽會(huì)

2025-04-24

第七屆全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(重慶)博覽會(huì)將于2025年5月8日-10日在重慶國(guó)際博覽中心舉辦,此次博覽會(huì)以“新時(shí)代·創(chuàng)造芯未來(lái)”為主題,展示面積達(dá)40000㎡,參展企業(yè)800家,吸引35000名專(zhuān)業(yè)觀(guān)眾到場(chǎng)參觀(guān)交流。