產(chǎn)品展示
設(shè)備整體為cluster結(jié)構(gòu),由光電轉(zhuǎn)換薄膜沉積系統(tǒng)、MAMS 電子剝離系統(tǒng)、排氣封裝系統(tǒng)、吸氣材料真空涂敷系統(tǒng)、整體除氣系統(tǒng)組成??蓪?shí)現(xiàn)整體自動(dòng)協(xié)調(diào)操作,也可各系統(tǒng)獨(dú)立運(yùn)行,互不干擾,系統(tǒng)間可設(shè)置互鎖。316材質(zhì)制造,預(yù)留若干法蘭接口。
查看詳情生產(chǎn)型 TGV/TSV /TMV 高真空磁控濺射鍍膜機(jī)
生產(chǎn)型TGV/TSV/TMV高真空磁控濺射鍍膜機(jī)(Sputter-2000W系列)該設(shè)備用于玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔的鍍膜,深徑比>10:1。
查看詳情研發(fā)設(shè)計(jì)制造了熱絲CVD金剛石設(shè)備,分為實(shí)驗(yàn)型設(shè)備和生產(chǎn)型設(shè)備兩類(lèi)。 設(shè)備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜的研發(fā)和生產(chǎn)??捎糜诹W(xué)級(jí)別、熱學(xué)級(jí)別、光學(xué)級(jí)別、聲學(xué)級(jí)別的金剛石產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。 可以制造大尺寸金剛石多晶晶圓片,用于大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉。
查看詳情分子束外延薄膜生長(zhǎng)設(shè)備(MBE)(分子束外延MBE)該設(shè)備可以在某些襯底上實(shí)現(xiàn)外延生長(zhǎng)工藝,實(shí)現(xiàn)分子自組裝、超晶格、量子阱、一維納米線(xiàn)等。可以進(jìn)行第二代半導(dǎo)體和第三代半導(dǎo)體的工藝驗(yàn)證和外延片的生長(zhǎng)制造。 分子束外延薄膜生長(zhǎng)設(shè)備在薄膜外延生長(zhǎng)時(shí)具有超高的真空環(huán)境,是在理想的環(huán)境下進(jìn)行薄膜外延生長(zhǎng),它可以排除在薄膜生長(zhǎng)時(shí)的各種干擾因素,得到理想的高精度薄膜。
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鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司
由哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳)與有多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起創(chuàng)建。
公司立足于技術(shù)前沿與市場(chǎng)前沿的交叉點(diǎn),尋求創(chuàng)新引領(lǐng)與可持續(xù)發(fā)展,解決產(chǎn)業(yè)的痛點(diǎn)和國(guó)產(chǎn)化難題,爭(zhēng)取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。 公司核心業(yè)務(wù)是微納技術(shù)與高端精密制造,具體應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體工藝和半導(dǎo)體裝備的研發(fā)設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造。 公司人才團(tuán)隊(duì)知識(shí)結(jié)構(gòu)完整,有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團(tuán)隊(duì);還有來(lái)自工業(yè)界的高級(jí)裝備設(shè)計(jì)師團(tuán)隊(duì),他們具有20多年的半導(dǎo)體材料研究、外延技術(shù)研究和半導(dǎo)體薄膜制備成套裝備設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗(yàn)。 公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳),具備先進(jìn)的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備平臺(tái)和檢測(cè)設(shè)備平臺(tái),可以在高起點(diǎn)開(kāi)展科研工作。公司總部位于深圳市,具備半導(dǎo)體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及半導(dǎo)體材料與器件的中試、生產(chǎn)、銷(xiāo)售的能力。
進(jìn)一步了解公司成立時(shí)間
技術(shù)專(zhuān)利
技術(shù)積累
服務(wù)客戶(hù)
實(shí)驗(yàn)室及研發(fā)中心
依托哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳)完備的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)和測(cè)試分析平臺(tái),為研發(fā)和生產(chǎn)提供支撐。
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