- 設(shè)計了中試型的全自動化監(jiān)控的MOCVD，用于外延GaN和ZnO
- 設(shè)計制造了中國第一臺完全自主知識產(chǎn)權(quán)的MBE（分子束外延設(shè)備），用于外延光電半導(dǎo)體材料
- 設(shè)計超高溫CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生長
- 設(shè)計制造了光學(xué)級金剛石生長設(shè)備（采用熱激發(fā)技術(shù)和CVD技術(shù)）
- 設(shè)計制造了金剛石涂層制備設(shè)備，制備了金剛石電極、微米晶和納米晶金剛石薄膜、導(dǎo)電金剛石薄膜
- 優(yōu)化Rheed設(shè)計，開始生產(chǎn)型MBE設(shè)計
- 開始研發(fā)PSD方法外延GaN的工藝和裝備
- 設(shè)計制造了大型熱絲CVD金剛石薄膜的生產(chǎn)設(shè)備
- 鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司成立
- 全資子公司 鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司成立；
- 熱絲化學(xué)氣相沉積設(shè)備、高真空磁控濺射儀、電子束蒸鍍機、分子束外延與磁控濺射聯(lián)用設(shè)備多套出貨
- 獲得ISO9001質(zhì)量管理體系證書
- PSD方法外延GaN裝備與工藝的技術(shù)攻關(guān)
- 科技型中小企業(yè)
- 創(chuàng)新型中小企業(yè)
- 獲20余項知識產(chǎn)權(quán)專利
- 企業(yè)信用評價AAA級信用企業(yè)、ISO三體系認(rèn)證
- 子公司 晶源半導(dǎo)體材料科技（沈陽）有限公司成立
- 與軍工和核工業(yè)客戶合作取得突破
- 鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司子公司擴產(chǎn)
- 晶源半導(dǎo)體材料科技（沈陽）有限公司投產(chǎn)BDD電極材料
-高新技術(shù)企業(yè)
-TSV/TGV/TMV
-微光探測、醫(yī)療影像、復(fù)合硬質(zhì)涂層
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