產(chǎn)品分類
- 產(chǎn)品描述
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項(xiàng)目
配置和指標(biāo)
1
整體配置
設(shè)備整體由真空系統(tǒng)、檢漏室、過渡室、質(zhì)譜儀、控制系統(tǒng)組成，真空儲存室采用304不銹鋼制造，內(nèi)外電解拋光，預(yù)留法蘭若干，配檢漏工件安裝平臺7套。四極質(zhì)譜儀1臺。
2
真空系統(tǒng)
配24m3/h抽速渦旋干泵、抽速2232m3/h磁懸浮分子泵，腔體極限真空度≤ 2X10-5Pa，配量程105Pa~10-6Pa復(fù)合真空計，高低真空規(guī)管2套。
3
檢漏指標(biāo)
測量模式下的抽速2.5 l/s， 1~100分子數(shù)，可檢測最小漏率至1·10E-13 Pa·m3/s，運(yùn)行預(yù)備時間3min，響應(yīng)時間0.5s，泄漏率線性對數(shù)輸出。
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