產(chǎn)品分類
- 產(chǎn)品描述
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項(xiàng)目
配置和指標(biāo) 1
整體配置 布置電容耦合和電感耦合兩套等離子體發(fā)生裝置，匹配兩個(gè)清洗腔室。 2
電容耦合等離子體配置 電容耦合等離子體內(nèi)腔尺寸 ?165X55mm，襯底與電極距離15～50mm可調(diào)，極限真空度0.1Pa，工作真空度60～500 Pa。2路工作氣路，配相應(yīng)的流量控制器和儀表。電源輸出功率100W（30/60/100W）三檔可調(diào)。 3
電感耦合等離子體配置 電感耦合等離子體內(nèi)石英管尺寸?160X190mm（壁厚7mm），極限真空度：0.1Pa，極限真空度0.1Pa，工作真空度60～500 Pa。2路工作氣路，配相應(yīng)的流量控制器和儀表。電源輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。 4
真空泵參數(shù) 外接真空泵，真空泵規(guī)格2L、AC220V
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