團簇式OLED設(shè)備

所屬分類：

團簇式OLED設(shè)備

服務(wù)支持：

13632750017

獲取報價

相關(guān)產(chǎn)品

產(chǎn)品描述

本產(chǎn)品是自主“OLED真空蒸鍍工藝裝備”，是“卡脖子”的35項關(guān)鍵技術(shù)的第六項。項目技術(shù)團隊已完成G1(1代線)和G2.5（2.5代線）的研發(fā)設(shè)計和生產(chǎn)制造。
項目技術(shù)團隊已經(jīng)解決了大部分關(guān)鍵技術(shù)問題（如：源爐技術(shù)、精準(zhǔn)對位技術(shù)（對位精度達到1.5μm）、精密蒸鍍電源技術(shù)、原位膜厚測量技術(shù)、高真空傳遞機械手、電控系統(tǒng)及自動化控制軟件等）。
公司可對外承接OLED的G1和G2.5工藝線的設(shè)計制造。

應(yīng)用領(lǐng)域

可廣泛用于OLED器件開發(fā)、量子點開發(fā)、薄膜太陽能電池器件研發(fā)、OLED微顯示的研發(fā)和生產(chǎn)、OLED材料驗證、VR（Micro-oled虛擬現(xiàn)實）、OLED照明等。

主要技術(shù)指標(biāo)

指標(biāo)	參數(shù)
對位精度	CCD精密對位≤1.5μm 機械對位≤150μm
膜厚均勻性和重復(fù)	±2%
總體技術(shù)路線	采用cluster方案
工藝流程	設(shè)計-審核-外協(xié)-組裝-電氣安裝-調(diào)試-出廠